厳選された素材と精密加工で定評のあるフロロメカニック（株）製の国産真空ピンセットです。
半導体ウェハー専用に設計され、導電性のＣシリーズと耐薬品性のＦシリーズがあります。
それぞれのシリーズに自在軸（Ｘ）と固定軸（Ｙ・Z）があり、125mm～300mmウェハー用の先端チップが用意されています。
お客様の用途に合わせて組み合わせが可能です。
厳選された素材と精密加工で定評のあるフロロメカニック（株）製の国産真空ピンセットです。
半導体ウェハー専用に設計され、導電性のＣシリーズと耐薬品性のＦシリーズがあります。
それぞれのシリーズに自在軸（Ｘ）と固定軸（Ｙ・Z）があり、125mm～300mmウェハー用の先端チップが用意されています。
お客様の用途に合わせて組み合わせが可能です。
導電性のＣシリーズと耐薬品性のＦシリーズにはそれぞれ下記3種類の接続方式があります。
X自在軸とZ固定軸は同じチップが取り付けられます。
X自在軸 ： 軸線に対して40°まで自由に角度を付けられます。
Y固定軸 ： 8″、12″ウェハーなど重量物に充分な強度があります。
Z固定軸 ： X自在軸用のチップが使えます。
導電性Cシリーズにはシリコンウェハー用チップと化合物半導体、薄いウェハー用のボーラスチップがあります。
真空ピンセット本体は炭素繊維入りナイロン樹脂（トレカ）を用いています。
導電性の効果を確実にするために、導電性チューブを使用してアースすることをお薦めします。導電性 スパイラルチューブには851-Ｍと851-Lをご用意しております。
アースする真空配管が無い場合には、アース付「導電性FV-W」ポンプも用意しております。
X自在軸、Z固定軸
Y固定軸
シリコンウェハー用
| 本体型番* | 軸タイプ | ウェハーサイズとチップ型番 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 5″ | 6″ | 8″ | 12″ | ||
| C00「 」-D-X-100– | X自在 | 97 | |||
| C00「 」-D-X-106– | X自在 | 95 | 96 | ||
| C00「 」-D-Y-161– | Y固定 | 90 | 91 | 92、98 | 99 |
| C00「 」-D-Z-110-129-1 | Z固定 | 95 | 96 | ||
| C00「 」-D-Z-111-129-0 | Z固定 | 97 | |||
| チップ材質 | カーボン繊維入り導電性PEEK | ||||
化合物半導体、薄いウェハー用のボーラスチップ
| 本体型番* | 軸タイプ | ウェハーサイズとポーラスチップ型番 | ||
|---|---|---|---|---|
| 3″、4″、5″ | 6″、8″ | 8″、12″ | ||
| C00「 」-D-Y-161– | Y固定 | 64 | 67 | 66 |
| チップ材質 | カーボン繊維入り導電性PEEK | |||
*「 」内にバルブ方式を表す下記数字がれて下さい。
1 : 常時閉
2： 常時開
3 : 常時開 、吸引遮断ボタン付
赤文字は省略可能な記号です。
真空ピンセット本体はフッ素樹脂（PTFE／PCTFE）を用いています。
X自在軸、Z固定軸
Y固定軸
| 本体型番* | 軸タイプ | ウェハーサイズとチップ型番** | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4″ | 5″ | 6″ | 8″ | 12″ | ||
| F00「 」-D-X-100– | X自在 | 09 | 05 | |||
| F00「 」-D-X-101– | X自在 | 06 | 01、02 | 03、04* | ||
| F00「 」-D-Y-131– | Y固定 | 11* | 14** | 15 | ||
| F00「 」-D-Z-110-130-0 | Z固定 | 06 | 01、02 | 03、04* | ||
| F00「 」-D-Z-111-130-1 | Z固定 | 09 | 05 | |||
 チップ材質型番 |
||||||
| -PK : PEEK | ||||||
| -VP : ベスペル 2024年生産中止、在庫限り | ||||||
*「 」内にバルブ方式を表す下記数字が入れて下さい。
1 : 常時閉
2： 常時開
3 : 常時開 、吸引遮断ボタン付
赤文字は省略可能な記号です。
**チップ型番の末尾に材質型番を追加して下さい。（*04-VPと11-VPはありません。）
**14-3Fと14-PKは生産中止になりました。(2017/03/10)
