ウェハー用真空ピンセット

ウェハー搬送用真空ピンセット

厳選された素材と精密加工で定評のあるフロロメカニック（株）製の国産真空ピンセットです。

半導体ウェハー専用に設計され、導電性のＣシリーズと耐薬品性のＦシリーズがあります。
それぞれのシリーズに自在軸（Ｘ）と固定軸（Ｙ・Z）があり、125mm～300mmウェハー用の先端チップが用意されています。

お客様の用途に合わせて組み合わせが可能です。

導電性のＣシリーズと耐薬品性のＦシリーズにはそれぞれ下記3種類の接続方式があります。

X自在軸とZ固定軸は同じチップが取り付けられます。

X自在軸　：　軸線に対して40°まで自由に角度を付けられます。

Y固定軸　：　8″、12″ウェハーなど重量物に充分な強度があります。

Z固定軸　：　X自在軸用のチップが使えます。

導電性Cシリーズ

導電性Cシリーズにはシリコンウェハー用チップと化合物半導体、薄いウェハー用のボーラスチップがあります。

真空ピンセット本体は炭素繊維入りナイロン樹脂（トレカ）を用いています。

導電性の効果を確実にするために、導電性チューブを使用してアースすることをお薦めします。導電性スパイラルチューブには851-Ｍと851-Lをご用意しております。

アースする真空配管が無い場合には、アース付「導電性FV-W」ポンプも用意しております。

X自在軸、Z固定軸

Y固定軸

本体型番と対応チップ（シリコンウェハー用）

本体型番*	軸タイプ		ウェハーサイズとチップ型番
本体型番*	軸タイプ	4″	5″	6″	8″	12″
C00「　」-D-X-100–	X自在				97
C00「　」-D-X-106–	X自在	94	95	96
C00「　」-D-Y-161–	Y固定		90	91	92、98	99
C00「　」-D-Z-110-129-1	Z固定		95	96
C00「　」-D-Z-111-129-0	Z固定	94			97
チップ材質			カーボン繊維入り導電性PEEK

本体型番と対応チップ（化合物半導体、薄いウェハー用のボーラスチップ）

本体型番*	軸タイプ	ウェハーサイズとポーラスチップ型番
本体型番*	軸タイプ	3″、4″、5″	6″、8″	8″、12″
C00「　」-D-Y-161–	Y固定	64	67	66
チップ材質		カーボン繊維入り導電性PEEK

*「　」内にバルブ方式を表す下記数字がれて下さい。

1 : 常時閉

2：常時開

3 : 常時開、吸引遮断ボタン付

赤文字は省略可能な記号です。

シリコンウェハー用チップ
	4″	5″		6″		8″			12″
型番	94	95	90	96	91	97	92	98	99
軸	X・Z	X・Z	Y	X・Z	Y	X・Z	Y	Y	Y

化合物半導体、薄いウェハー用のボーラスチップ
	4″～6”				6″～8″			8″～12”
型番	64				67			66
軸	Y				Y			Y

耐薬品性のＦシリーズ

真空ピンセット本体はフッ素樹脂（PTFE／PCTFE）を用いています。