ISO3～7、クラス1～10,000
5mm巾四辺熱シール
ポリエステル・ニット
ベクトラ・ハニカム10はグリット状の編み目（片面のみ）のあるポリエステル・ニットで、比較的大きな粒状のゴミを拭き取るのに適しています。
5mm巾で四辺熱シールし、ベクトラ・プロセスで洗浄・検査しています。
ISO3～7、クラス1～10,000
5mm巾四辺熱シール
ポリエステル・ニット
ベクトラ・ハニカム10はグリット状の編み目（片面のみ）のあるポリエステル・ニットで、比較的大きな粒状のゴミを拭き取るのに適しています。
5mm巾で四辺熱シールし、ベクトラ・プロセスで洗浄・検査しています。
| ● 割れたウェハー片の拭き取り
● プロセスに残った金属薄膜片の拭き取り
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| 型番 | 品名 | サイズ | 梱 包 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 包装 | 袋入数 | 箱入数 | |||
| TX1060 | ベクトラ・
ハニカム10 |
9″ x 9″ | 平積み | 100枚/袋 | 10袋/箱 |
| 23cmx23cm | 50枚/内袋x2 | (9.5kg) | |||
| 液中パーティクル* | 4,000,000個/m2 | イオン*** | 0.30ppm | ||
|---|---|---|---|---|---|
| >=0.5μm | ナトリウム | ||||
| SEMパーティクル** | 0.5-5.0μm | 1,800,000個/m2 | カリウム | 0.07ppm | |
| 5.0-100μm | 88,000個/m2 | 塩素 | 0.04ppm | ||
| ＞100μm | 220個/m2 | 吸水量 | 420ml/m2 | ||
| 不揮発性残留物 | IPA抽出 | 0.03g/m2 | 吸水速度 | 0.5秒 | |
| 純水抽出 | 0.004g/m2 | 目 付 | 164g/m2 | ||
*負荷ウェット法による液中パーティクル数（TM22）
**電子顕微鏡法（ASTM E2090-06) によるパーティクル数（TM22）
***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)
