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ベクトラ・アルファ10

ISO2～7、クラス1～10,000
5mm巾四辺熱シール
ポリエステル・ニット

比較的伸びの少ないニットは、粗い表面の拭き取りでも丈夫です。
アルファ10は、伸びの少ないニットを5mm巾で熱シールしています。

アルファ10をベクトラ・プロセス*で洗浄・検査したベクトラ・アルファ10、TX1010があります。



ベクトラ・アルファ10

特徴
  • 推奨使用環境：　ISO2～7、クラス1～10,000
  • 材　　質　　：　ポリエステル
  • 編方・構造　：　両面編　（一層）
  • 切断面処理　：　5mm巾熱シール
  • 洗浄方法　　：　ベクトラ洗浄 （TX1010、ベクトラ・アルファ10）
  • 洗浄方法　　：　バッチ洗浄 (TX1012、アルファ10)
  • 包装方法　　：　２重包装
用途
  • 半導体製造装置等のプロセス面の拭き取り(真空チャンバー内面等)
  • ISO2～7、クラス1～10,000環境での拭き取り

ベクトラ・プロセスに関してはこちらをご覧ください。

（ベクトラ）アルファ10の型番と梱包
型番 品名 サイズ  梱　包
包装 袋入数 箱入数
ベクトラ・アルファ10 TX1010 ベクトラ・

アルファ10

 9″ x 9″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
23cmx23cm 50枚/内袋x2 (7.7kg)
TX1012 アルファ10 12″ x 12″ 平積み 100枚/袋 10袋/箱
30cmx30cm 100枚/内袋 x 1 (13.6kg)
アルファ10のウェット・ワイパーと滅菌ワイパー
サイズ ウェットワイパー 滅菌ドライ 滅菌ウェットワイパー
9″x9″ 23cmx23cm TX8410 100%IPA － TX3285 70%IPA
TX8415 6%IPA
12″x12″ 30cmx30cm － － TX3212 TX3280 70%IPA
TX1010 ベクトラ・アルファ10の特性
液中パーティクル* 2,900,000個/m2 イオン***  0.04ppm
>=0.5μm ナトリウム
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 1,700,000個/m2 カリウム 0.04ppm
5.0-100μm 37,000個/m2 塩素 0.009ppm
＞100μm  100個/m2 吸水量 320ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.02g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.003g/m2 目　付 130g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数（TM22）

**電子顕微鏡法（ASTM E2090-06) によるパーティクル数（TM22）

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

TX1012 アルファ10の特性
液中パーティクル* － イオン***  0.25ppm
>=0.5μm ナトリウム
SEMパーティクル** 0.5-5.0μm 5,100,000個/m2 カリウム 0.18ppm
5.0-100μm 246,825個/m2 塩素 0.11ppm
＞100μm  144個/m2 吸水量 320ml/m2
不揮発性残留物 IPA抽出 0.05g/m2 吸水速度 0.5秒
純水抽出 0.02g/m2 目　付 135g/m2

*負荷ウェット法による液中パーティクル数（TM22）

**電子顕微鏡法（ASTM E2090-06) によるパーティクル数（TM22）

***イオン・クロマトグラフィーによる溶出イオンの測定(TM18)

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